ファインセラミックス Fine Ceramics

アルミナセラミックス

アルミナセラミックス Al

エンジニアリングセラミックスの中で最も幅広く利用されているセラミックスであり、高い電気絶縁性、耐摩耗性、耐食性を示すとともにコストパフォーマンスにも優れます。
当社では主成分99.99%以上の高純度グレードやプラズマ耐性の高いグレードなどを取り揃えております。

主な用途

  • 半導体製造装置のチャンバー内部品
  • ウエハ搬送部品
  • 液晶製造装置用部品
  • 各種耐熱・絶縁部品
アルミナセラミックス製品写真 アルミナセラミックス製品写真

特性値

ファインセラミックスには、耐熱、耐食、耐摩耗、絶縁、高剛性等さまざまな特徴がありますので、お客様のニーズに応じて、適切な材料をご提案します。

一般特性

品番 特徴 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
AS999 高純度 99.99 白色 3.95 0
AT999 耐熱性 99.9 白黄色 3.92 0
AM997 耐プラズマ
汎用グレード
99.7 白黄色 3.93 0
AM997QⅡ 低誘電損失 99.7 白黄色 3.93 0
ACM995 機械部品 99.5 白黄色 3.93 0
ACM96 機械部品 96 白色 3.74 0

機械的特性

曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
390 380 18
400 385 16
390 375 18
390 385 17
370 370 16
350 320 14

熱的特性

最高使用温度(℃) 熱膨張係数(1/℃ ×10-6 熱伝導率(W/m・K) 耐熱衝撃ΔT(℃)
RT~500℃ RT~800℃
1600 7.0 7.7 33 200
1600 7.9 - 34 200
1600 7.0 7.6 33 200
1600 7.0 - 33 200
1600 7.2 - 32 250
- 7.2 - 24 200

電気的特性

体積抵抗率 誘電率 誘電損失
(×10-4
Qファクター
(×104
絶縁破壊電圧
(kV/mm)
25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
1015 1012 109 107 9.9 0.5 2 18
1015 1014 1011 106 9.8 4 0.25 17
1016 1013 1010 109 9.7 1 1 18
1015 1014 1012 105 9.7 0.15 6.7 18
1014 1014 1010 106 9.9 10 0.1 15
1015 109 107 105 9.4 38 0.03 14
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