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アルミナセラミックスのタイトル画像

アルミナセラミックス　Ａｌ２０３
エンジニアリングセラミックスの中で最も幅広く利用されているセラミックスであり、高い電気絶縁性、耐摩耗性、耐食性を示すとともにコストパフォーマンスにも優れます。 当社では主成分99.99%以上の高純度グレードやプラズマ耐性の高いグレードなどを取り揃えております。

主な用途
  • 半導体製造装置のチャンバー内部品
  • ウエハ搬送部品
    		•
  • 液晶製造装置用部品
  • 各種耐熱・絶縁部品
    		•
    アルミナセラミックス製品写真 アルミナセラミックス製品写真

    特性値
    ファインセラミックスには、耐熱、耐食、耐摩耗、絶縁、高剛性等さまざまな特徴がありますので、お客様のニーズに応じて、適切な材料をご提案します。

    一般特性
    品番 特徴 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
    AS999 高純度 99.99 白色 3.95 0
    AG999 耐プラズマ 99.9 白黄色 3.93 0
    AM997 汎用グレード 99.7 白黄色 3.93 0

    機械的特性
    曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
    390 380 18
    390 380 17
    390 375 18

    熱的特性
    最高使用温度（℃） 熱膨張係数（1/℃　×10-6） 熱伝導率（W/m･K） 耐熱衝撃ΔT（℃）
    RT～500℃ RT～800℃
    1600 7.0 7.7 33 200
    1600 7.4 8.1 30 -
    1600 7.0 7.6 33 200

    電気的特性
    体積抵抗率 誘電率 誘電損失
    (×10-4）     		Qファクター
    （×104）     		絶縁破壊電圧
    （kV/mm）
    25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
    1015 1012 109 107 9.9 0.5 2 18
    1015 - - - 9.7 6 0.2 17
    1016 1013 1010 109 9.7 1 1 18
     
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