株式会社フェローテック 株式会社フェローテック   |   ENGLISH   |   サイトマップ
 
     
 
窒化アルミニウムセラミックスのタイトル画像

窒化アルミニウムセラミックス　ＡｌＮ
窒化アルミセラミックスの最大の特徴はその高い熱伝導性にあります。また、高いフッ素プラズマ耐性やシリコン（Si）に近い熱膨張係数を示すなどユニークな特性もあわせもちます。 それらの特性を活かして放熱性を要する部品や半導体製造装置の耐プラズマ性部品など多くの用途に用いられております。 当社では高熱伝導グレードと高純度グレードを用意いたしております。

主な用途
  • 半導体製造装置のチャンバー内部品
    		•
  • 放熱性基材
    		•
    窒化アルミニウムセラミックス製品写真

    特性値

    一般特性
    品番 特徴 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
    ALN99 高純度 99 淡灰色 3.24 0
    ALN94 高熱伝導 94 淡灰色 3.31 0

    機械的特性
    曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
    295 320 11
    345 320 11

    熱的特性
    最高使用温度（℃） 熱膨張係数（1/℃　×10-6） 熱伝導率（W/m･K） 耐熱衝撃ΔT（℃）
    RT～500℃ RT～800℃
    1000 4.4 5.1 80 300
    1000 4.4 5.1 150 400

    電気的特性
    体積抵抗率 誘電率 誘電損失
    (×10-4）     		Qファクター
    （×104）     		絶縁破壊電圧
    25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
    1014 108 107 105 8.5 30 0.03 -
    1014 1010 107 105 8.5 30 0.03 -
     
    PAGETOP