ファインセラミックス Fine Ceramics

窒化アルミセラミックス

窒化アルミセラミックス AlN

窒化アルミセラミックスの最大の特徴はその高い熱伝導性にあります。また、高いフッ素プラズマ耐性やシリコン(Si)に近い熱膨張係数を示すなどユニークな特性もあわせもちます。 それらの特性を活かして放熱性を要する部品や半導体製造装置の耐プラズマ性部品など多くの用途に用いられております。 当社では高熱伝導グレードと高純度グレードを用意いたしております。

主な用途

  • 半導体製造装置のチャンバー内部品
  • 放熱性基材
窒化アルミセラミックス製品写真

特性値

一般特性

品番 特徴 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
ALN99 高純度 99 淡灰色 3.24 0
ALN94 高熱伝導 94 淡灰色 3.31 0

機械的特性

曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
295 320 11
345 320 11

熱的特性

最高使用温度(℃) 熱膨張係数(1/℃ ×10-6 熱伝導率(W/m・K) 耐熱衝撃ΔT(℃)
RT~500℃ RT~800℃
1000 4.4 - 80 -
1000 4.4 - 150 400

電気的特性

体積抵抗率 誘電率 誘電損失
(×10-4
Qファクター
(×104
絶縁破壊電圧
25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
1014 108 107 105 8.5 30 0.03 -
1014 1010 107 105 8.5 30 0.03 15
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