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サイアロンセラミックス SiAlON

サイアロンセラミックスは窒化珪素にアルミニウム原子(Al)と酸素原子(O)が固溶した材料で、低熱膨張、高強度であり高温特性や耐熱衝撃性に優れます。半導体製造装置や一般産業機械などのほか高温構造材料としても幅広い用途があります。

主な用途

  • 半導体製造装置用部品
  • 一般産業機械用部品
  • 耐熱部材
  • 耐磨耗部材
  • サイアロンセラミックス製品写真

    特性値

    一般特性

    品番 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
    SA201 90 灰色 3.2 0

    機械的特性

    曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
    880 290 12

    熱的特性

    最高使用温度(℃) 熱膨張係数(1/℃ ×10-6 熱伝導率(W/m・K) 耐熱衝撃ΔT(℃)
    RT~500℃ RT~800℃
    1300 2.4 2.9 27 800

    電気的特性

    体積抵抗率 誘電率 誘電損失
    (×10-4
    Qファクター
    (×1014
    絶縁破壊電圧
    (kV/mm)
    25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
    1015 1013 1011 1017 8.0 14 0.7 15
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