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炭化珪素セラミックス　ＳｉＣ

炭化珪素セラミックスは軽量かつ高ヤング率、高強度であり、構造材料として高いポテンシャルを持つ材料です。耐磨耗性が求められる用途はもちろん、高荷重の使用条件でも厳密な寸法精度保持が可能です。また、ある程度の電気伝導性を持つことから静電気拡散機能も発揮します。

主な用途

半導体製造装置用部品

一般産業機械用部品

耐磨性部品

特性値

一般特性

主成分純度(wt%)	呈色	密度(g/cm³)	吸水率(%)
97	黒色	3.1	0

機械的特性

曲げ強度(MPa)	ヤング率(GPa)	ビッカース硬度(GPa)
400	400	20

熱的特性

最高使用温度（℃）	熱膨張係数（1/℃　×10^-6）		熱伝導率（W/m･K）	耐熱衝撃ΔT（℃）
最高使用温度（℃）	RT～500℃	RT～800℃	熱伝導率（W/m･K）	耐熱衝撃ΔT（℃）
1600	3.9	4.3	130	300

電気的特性

体積抵抗率				誘電率	誘電損失 (×10^-4）	Qファクター（×10⁴）	絶縁破壊電圧
25℃	300℃	500℃	800℃	10GHz	誘電損失 (×10^-4）	Qファクター（×10⁴）	絶縁破壊電圧
3×10⁶	-	-	-	-	-	-	-