ファインセラミックス Fine Ceramics

窒化珪素セラミックス

窒化珪素セラミックス Si3N4

高強度、高靭性なセラミックスであり、高温特性や耐熱衝撃性に優れます。高負荷、高温環境など厳しい使用条件にも耐えうる材料です。 当社の窒化珪素セラミックスは半導体製造装置や一般産業機械向けに広く採用されております。

主な用途

  • 半導体製造装置用部品
  • 一般産業機械用部品
  • 耐熱部品
窒化珪素セラミックス製品写真

特性値

一般特性

品番 主成分純度(wt%) 呈色 密度(g/cm3) 吸水率(%)
SN606 90 灰色 3.16 0

機械的特性

曲げ強度(MPa) ヤング率(GPa) ビッカース硬度(GPa)
750 285 16

熱的特性

最高使用温度(℃) 熱膨張係数(1/℃ ×10-6 熱伝導率(W/m・K) 耐熱衝撃ΔT(℃)
RT~500℃ RT~800℃
1200 2.7 4.2 23 700

電気的特性

体積抵抗率 誘電率 誘電損失
(×10-4
Qファクター
(×104
絶縁破壊電圧
(kV/mm)
25℃ 300℃ 500℃ 800℃ 10GHz
1016 1013 1011 107 8 6.1 0.16 14
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