|
|
 |
 |
|
|
|
材 質
|
ファインセラミックス
Fine Ceramics
|
参 考
|
アルミナ
Al2O3
|
窒化ケイ素
Si3N4
|
サイアロン
SiAlON
|
炭化ケイ素
SiC
|
窒化アルミ
AlN
|
ジルコニア
ZrO2
|
低熱膨張
セラミックス
|
|
AS999
|
AG999
|
AM997
|
SN605
|
SA201
|
SC902
|
ALN99
|
ALN94
|
Z403
|
LE101
|
合成石英
|
SUS304
|
一
般
的
性
質
|
主成分純度
|
wt％
|
99.99
|
99.9
|
99.7
|
90
|
90
|
97
|
99
|
94
|
94
|
－
|
99.99
|
－
|
|
呈 色
|
|
白色
|
白黄色
|
白黄色
|
灰色
|
灰色
|
黒色
|
淡灰色
|
淡灰色
|
白黄色
|
灰色
|
透明
|
－
|
|
密 度
|
g/cm3
|
3.95
|
3.95
|
3.93
|
3.25
|
3.20
|
3.10
|
3.24
|
3.31
|
5.98
|
2.5
|
2.20
|
7.93
|
|
吸 水 率
|
％
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
機
械
的
性
質
|
曲げ強度
|
MPa
|
390
|
390
|
390
|
725
|
880
|
400
|
295
|
345
|
880
|
200
|
70
|
－
|
|
ヤング率
|
GPa
|
380
|
380
|
375
|
285
|
290
|
400
|
320
|
320
|
245
|
140
|
71
|
193
|
|
ビッカース硬度
|
GPa
|
18
|
17
|
18
|
16
|
12
|
20
|
11
|
11
|
16
|
－
|
9
|
2
|
熱
的
性
質
|
最高使用温度
|
℃
|
1600
|
1600
|
1600
|
1200
|
1300
|
1600
|
1000
|
1000
|
－
|
－
|
－
|
－
|
|
熱膨張係数
|
RT～500℃
|
1/℃
(×10-6)
|
7.0
|
7.4
|
7.0
|
3.5
|
2.4
|
3.9
|
4.4
|
4.4
|
8.9
|
<0.5
|
0.64
|
18.7
|
|
RT～800℃
|
7.7
|
8.1
|
7.6
|
4.2
|
2.9
|
3.9
|
－
|
－
|
10.4
|
2.0
|
－
|
－
|
|
熱伝導率
|
W/m・k
|
33
|
30
|
33
|
13
|
27
|
130
|
80
|
150
|
3
|
－
|
1.1
|
16.3
|
|
耐熱衝撃
|
△T（℃）
|
200
|
－
|
200
|
700
|
800
|
300
|
－
|
－
|
280
|
－
|
－
|
－
|
電
気
的
性
質
|
体積低抗率
|
25℃
|
Ω･cm
|
1015
|
1015
|
1016
|
1016
|
1015
|
3×106
|
1014
|
1014
|
－
|
1014
|
＞1015
|
－
|
|
300℃
|
1012
|
1014
|
1013
|
1014
|
1013
|
－
|
108
|
1010
|
－
|
1012
|
－
|
－
|
|
500℃
|
109
|
1013
|
1010
|
1011
|
1011
|
－
|
107
|
107
|
－
|
1010
|
－
|
－
|
|
800℃
|
107
|
108
|
109
|
107
|
107
|
－
|
105
|
105
|
－
|
106
|
－
|
－
|
|
誘 電 率
|
10GHz
|
9.9
|
9.7
|
9.7
|
8.3
|
8.0
|
－
|
8.5
|
8.5
|
－
|
－
|
－
|
－
|
|
誘電損失
|
×10-4
|
0.5
|
6
|
1
|
25
|
14
|
－
|
30
|
30
|
－
|
－
|
－
|
－
|
|
Qファクター
|
1/tanδ
|
×104
|
2
|
0.2
|
1
|
0.04
|
0.7
|
－
|
0.03
|
0.03
|
－
|
－
|
－
|
－
|
|
絶縁破壊電圧
|
KV/mm
|
18
|
17
|
18
|
14
|
15
|
－
|
－
|
－
|
－
|
23
|
－
|
－
|
|
主 な 特 徴
|
耐薬品性
μ波透過性
|
耐熱性
耐食性
|
耐熱性
耐薬品性
μ波透過性
|
高強度
耐摩耗性
耐熱衝撃性
|
高強度
低熱膨張性
耐熱衝撃性
|
耐熱性
耐薬品性
耐摩耗性
|
高熱伝導性
μ波透過性
|
高強度
高靱性
耐摩耗性
|
低熱膨張性
ポアレス
|
高純度
耐熱性
耐薬品性
|
|
|
推 奨 用 途
|
μ波導入板
チャンバー部品
絶縁部品
|
耐プラズマ部品
絶縁部品
|
チャンバー部品
絶縁部品
機械部品
μ波導入板
|
機械部品
摺動部品
耐熱部品
|
機械部品
摺動部品
耐熱部品
|
機械部品
摺動部品
耐熱部品
|
μ波導入板
絶縁部品
|
機械部品
摺動部品
|
機械部品
|
半導体製造
用治具・部品
耐熱部品
|
|
|
|
